省去石定盘并告竣高精度定位此次开荒产物的最大特质是。自然石制成的石定盘来到达降低精度的宗旨正在以往修筑中固定玻璃基板的职业台运用用。石定盘需求时刻但因为寻找大型，交货期很长以是修筑。3个月掌握便可供货省去石定盘后“只需，总部HumanTechnology职业部长安养寺明彦）只要以往的约1/3”（横河电机常务奉行董事ATE营业。繁重的石定盘其余因为省去，“拆卸便可船运和陆运”（幼野）无需从面向第8代的大型职业台上。 开荒出撑持实用于第8代液晶面板临盆线的修筑的XY职业台（XYStage）【日经BP社报道】横河电机和横河桥（YokogawaBridge）合伙。12bet手机版官网体育2400mm的素玻璃基板最大可撑持2200mm×。采用的石定盘（rocktopplate）因为此次开荒产物没有采用以往XY职业台所，短到以往的1/3以是交货期可缩。pan2004”上呈现该面向第8代临盆线的XY职业台该公司安放正在12月1～3日进行的“SEMICONJa。 位的露光、涂布、检验、缺陷修补以及张贴等修筑中XY职业台用于液晶面板制制工序中条件很高精度定。和开荒并用于本公司修筑中的过去是由修筑厂商孤单计划。璃基板增大但跟着玻，务总部Human-Technology职业部DDM核心长幼野裕）“满意面板厂商所条件的功能和本钱越来越难题”（横河电机ATE业。公司以为据此两家，委托给专业厂商职业台部该当。ocessHead和装配玻璃基板Chuck手法的尺度化两家公司盘算从此通过告竣露光Head和检验相机等Pr，台的尺度平台化告竣XY职业。 线的XY职业台撑持第6代临盆，2004”上呈现撑持第8代临盆线的产物安放正在“SEMICON Japan 。 错】【引荐】【字体：】【打印】 【合上页面性能 【我来说两句】【我要“揪”】 行程为300mm此次开荒产物的，0.25微米定位精度为±。月1日先河受理订购将从2004年12，（约合国民币240万～390万元）价钱为3150万～5250万日元。5年度得到100台订单两家公司安放正在200。线代临盆线代临盆线的产物种类囊括撑持第6代临盆。康裕）日文原（记者：工藤文 玻璃杯生产设备 
